2025年8月27日，以“共商、共議、共建”為宗旨，以“相遇、相識、相知”為主題的 “半導體級臭氧發(fā)生器標準”啟動暨評審大會在青島隆重召開并取得了圓滿成果。

本次大會聚焦半導體級臭氧發(fā)生器技術在行業(yè)中的應用與需求深入討論，針對臭氧發(fā)生器技術現(xiàn)狀與未來發(fā)展進行回顧與展望，旨在啟動“半導體級臭氧發(fā)生器標準”的制定以及評審工作，旨在推動行業(yè)技術創(chuàng)新、明確技術標準，規(guī)范市場秩序、提升產(chǎn)品質(zhì)量與國際競爭力。

本次“半導體級臭氧發(fā)生器標準”工作由“中國國際經(jīng)濟技術合作促進會”

提出，由青島國林半導體技術有限公司牽頭，協(xié)同產(chǎn)業(yè)鏈上下游相關領域頭部企業(yè)共同制定，本次受邀參加的其余企業(yè)如下：北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、華海清科股份有限公司、拓荊創(chuàng)益（沈陽）半導體設備有限公司、北京電控集成電路制造有限公司、上海陛通半導體能源科技股份有限公司、北方集成電路技術創(chuàng)新中心、盛吉盛半導體科技（無錫）有限公司、盛美半導體設備（上海）股份有限公司、杭州星源馳半導體有限公司、江蘇亞電科技股份有限公司、上海至純系統(tǒng)集成有限公司、浙江啟爾機電技術有限公司、上海正帆科技股份有限公司、天津奧爾斯曼新能源科技有限公司、山東志偉環(huán)?？萍加邢薰竟灿?6家單位，涵蓋臭氧、薄膜、濕法清洗、CMP等裝備以及終端fab廠、PFA關鍵零部件等眾多知名企業(yè)。

會議當天上午10:00時，部分嘉賓早早來到了國林半導體公司，提前深入企業(yè)車間了解臭氧發(fā)生器制造全過程，充分進行了技術研發(fā)、制造以及應用交流。13:00-14:00參會嘉賓陸續(xù)簽到，大家相互認識并熱烈交流互動。

會議由青島國林半導體技術有限公司總經(jīng)理徐洪魁主持，由中國國際經(jīng)濟技術合作促進會國標委員會主任冀云致歡迎辭。二位表示，標準是行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要技術基礎，作為深耕臭氧技術多年的企業(yè)，在協(xié)會的大力支持下，國林半導體有責任，也有能力攜手各方共同構建一個技術領先、安全可靠、適應產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展需求的標準體系。此次標準的制定，將聚焦半導體級臭氧發(fā)生器（涵蓋面板顯示）的性能、安全、能效、環(huán)保及智能化等關鍵指標，力求體現(xiàn)行業(yè)當下滿足需求的技術水平和未來發(fā)展方向。

受國林半導體主辦方的特別邀請，中國國際經(jīng)濟促進會標準化工作委員會副主任晨萌進行了“國促會介紹及團體標準發(fā)展歷程”主題分享；歡芯鼓伍創(chuàng)始人羅仕洲博士進行“國內(nèi)半導體制造產(chǎn)業(yè)分析及液態(tài)工藝技術現(xiàn)況與未來”主題分享，青島國林半導體技術有限公司總經(jīng)理徐洪魁進行“國產(chǎn)化臭氧技術發(fā)展”主題分享， 三位的報告分別從標準的由來、產(chǎn)業(yè)的發(fā)展以及臭氧技術的現(xiàn)狀進行深入淺出的精彩分享，使參會嘉賓更能充分地理解標準啟動暨評審會的追根溯源，為標準的充分評審夯實專業(yè)基礎。

會議期間，參編標準上午與會嘉賓、專家等聽取徐洪魁總經(jīng)理的標準起草匯報，對提交的標準文件進行了詳細的審查及各種方式討論，參編各單位一致認可標準文件的總體編寫質(zhì)量，部分條款細節(jié)也進行了推敲溝通。此次標準的評審，標志著半導體級臭氧發(fā)生器行業(yè)標準化工作邁入了嶄新的階段，國林半導體將積極協(xié)同各參與單位，加速推進標準的后續(xù)制定、報批與推廣實施工作，為我國半導體臭氧配套設備的國產(chǎn)化研制與應用注入新動能。

標準文件評審后，應會前部分嘉賓的參觀要求，國林半導體組織嘉賓進行國林半導體公司潔凈車間制造場景的參觀，分別參觀“千級臭氧氣體發(fā)生器生產(chǎn)與測試車間”“萬/千級功能水（含臭氧水）生產(chǎn)與測試車間”，由總經(jīng)理徐洪魁親自為嘉賓講解臭氧發(fā)生器以及關鍵零部件制造的全過程，講述公司生產(chǎn)潔凈管控工作的模式與產(chǎn)能規(guī)劃，與會嘉賓在了解中不斷詢問著各類問題，大家在一片歡笑聲中對于未來國產(chǎn)化的發(fā)展也充滿了更多的期待，參觀后大家集體合影留念。

結束語：

本次標準大會的成功舉辦，不僅開啟了半導體行業(yè)國產(chǎn)化臭氧發(fā)生器技術標準的新篇章，還為半導體（含面板顯示）領域的科研、工藝、裝備等人員提供一個充分的臭氧技術交流平臺，進一步促進了行業(yè)內(nèi)深入融合與協(xié)同效應，為應對當前國際競爭背景下國產(chǎn)化臭氧技術的應用與挑戰(zhàn)提供了重要的實踐基礎。相信在行業(yè)同仁的共同努力與支持下，國產(chǎn)化臭氧技術的發(fā)展未來可期！